特許
J-GLOBAL ID：200903006650514436

加熱ダイオード温度測定装置とこれを用いた赤外線温度測定装置および流量測定装置ならびに流量センシング部の製作方法

発明者：
木村 光照

木村 光照 について


出願人/特許権者：
木村 光照

木村 光照 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-068266
公開番号（公開出願番号）：特開2006-250736
出願日： 2005年03月10日
公開日（公表日）： 2006年09月21日
要約：
【課題】ダイオードをヒータとして利用した経時変化が小さく、高速応答、高感度かつ高信頼性で低消費電力の超小型の温度測定装置を提供する。また、これを用いた小型の赤外線温度測定装置と流量計測装置、および流量のセンシング部の製作方法を提供する。【解決手段】pn接合などの半導体のダイオード2に順方向電圧を印加して発熱させてヒータとして動作させると共に、このダイオード2を温度センサとしても利用する、または必要に応じて別に設けた個別温度センサで温度計測できるようにする。宙に浮いた半導体薄膜15にダイオード2を形成することにより、赤外線センサとしても低消費電力や高感度化を達成させる。液体の温度計測では、ダイオードを形成してある半導体薄膜を島状にして熱絶縁性基板に貼り付ける。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
半導体の接合を用いたダイオード(2)に順方向電圧を印加して発熱させるようにしたヒータとして動作させると共に、該ダイオード(2)を温度センサとしても動作させるようにしたことを特徴とする加熱ダイオード温度測定装置。
IPC (3件)：
G01K 7/01 ,  G01J 5/20 ,  G01F 1/692
FI (4件)：
G01K7/00 391C ,  G01J5/20 D ,  G01F1/68 104B ,  G01K7/00 391S
Fターム (7件)：
2F035EA05 ,  2F035EA08 ,  2F056JT01 ,  2F056JT08 ,  2G066BA09 ,  2G066BA60 ,  2G066CA20
引用特許：
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (11件)
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