板材の自立補助機構及び欠陥検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：西村竜平 , 佐藤明子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-278503
公開番号（公開出願番号）：特開2007-084333
出願日： 2005年09月26日
公開日（公表日）： 2007年04月05日
要約：

【課題】簡単な構造でありながら、板材を撓ませることなく簡単に保持することができる板材の自立補助機構を提供することである。【解決手段】板材Wが載置される載置部材6に当該板材Wの下端W2を載置して立て掛けられ、その板材Wが鉛直に起立した状態で、その一方の面Waの上端部Wa1を支持する支持部材7と、前記板材Wの他方の面Wbの上端部Wb1に接触して前記支持部材7との間で前記板材Wを挟み込み、前記板材Wが前記支持部材7から離れないように保持する保持部材8とを備えている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

板材が起立して載置される載置部材と、前記板材の一方の面の上端部又は側端部に接触して、前記板材を鉛直に立て掛けうるように支持して、前記一方の面側から前記板材の自立を補助する支持部材と、前記板材の他方の面の上端部又は側端部に接触して、前記板材が前記支持部材から離れないように保持して、前記他方の面側から前記板材の自立を補助する保持部材と、を備えている板材の自立補助機構。

IPC (6件)：

B65G 49/06 , H01L 21/66 , G01N 21/956 , H05K 3/00 , H01L 21/027 , G01N 21/89

FI (6件)：

B65G49/06 A , H01L21/66 J , G01N21/956 A , H05K3/00 Q , H01L21/30 502V , G01N21/89 T

Fターム (13件)：

2G051AA51 , 2G051AA56 , 2G051AB02 , 2G051BA10 , 2G051CA02 , 2G051CA07 , 2G051DA05 , 2G051DA20 , 4M106AA01 , 4M106CA38 , 4M106DB19 , 4M106DJ02 , 4M106DJ05

引用特許：

出願人引用 (1件)

欠陥検査装置および欠陥検査方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-344327 出願人：株式会社日立製作所, 日立電子エンジニアリング株式会社

審査官引用 (10件)

基板表面の平坦度測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-238016 出願人：東芝セラミックス株式会社
特開平2-101164
基板搬送装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-045561 出願人：株式会社ニコン

全件表示

前のページに戻る