特許
J-GLOBAL ID：200903007672470668

スピンコート法

発明者：
太田 泰晴

太田 泰晴 について


出願人/特許権者：
沖電気工業株式会社

沖電気工業株式会社 について

, 
宮崎沖電気株式会社

宮崎沖電気株式会社 について


代理人 (1件)： 佐藤 幸男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-353133
公開番号（公開出願番号）：特開2004-153262
出願日： 2003年10月14日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】コート液を過剰に供給する無駄を防止する。【解決手段】基板にコート液を供給した後、高速回転させて、コート液の拡がり速度が最大となる回転速度まで加速回転させる。基板を、20000rpmの回転速度になるまで4000rpm/sの回転加速度で回転することにより、少量のコート液で基板面を効果的に塗布することができる。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
回転の停止している基板上にコート液を供給し、その後、前記基板を加速回転させて該基板上に前記コート液を拡げるスピンコート法であって、 前記基板を、前記コート液の拡がり速度が最大となる回転速度まで加速回転させることを特徴とするスピンコート法。
IPC (3件)：
H01L21/027 ,  B05D1/40 ,  G03F7/16
FI (3件)：
H01L21/30 564D ,  B05D1/40 A ,  G03F7/16 502
Fターム (20件)：
2H025AA18 ,  2H025AB16 ,  2H025AD01 ,  2H025AD03 ,  2H025EA05 ,  4D075AC64 ,  4D075AC94 ,  4D075BB56Y ,  4D075BB69Y ,  4D075CA48 ,  4D075DA06 ,  4D075DA08 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DC22 ,  4D075DC24 ,  4D075EA07 ,  4D075EA45 ,  5F046JA09 ,  5F046JA13
引用特許：
出願人引用 (12件)
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審査官引用 (13件)
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