特許
J-GLOBAL ID：200903007850105260

二流体水噴霧ノズルの比例制御方法とその装置。

発明者：
加藤 彰

加藤 彰 について

, 
植村 聡

植村 聡 について


出願人/特許権者：
三機工業株式会社

三機工業株式会社 について


代理人 (1件)： 朝倉 正幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-285089
公開番号（公開出願番号）：特開2007-139403
出願日： 2006年10月19日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】クリーン湿度制御に際して水温度、負荷変動に相当する水流量、外気温度の変化などの外乱を測定し、その影響が予め予測し偏差が生じる以前に対策を講ずるようにした方法・装置を提供する。【解決手段】二流体水噴射ノズル5の圧縮空気量と水量とを制御して大規模クリーリンルームを加湿する際に、水側比例弁3の開度をものとにアナログ変換機ACを介してフィードフォワード方式で空気比例弁4の開度を決定するようにした。水供給路1及び空気供給42の比例制御弁6,7の入り口圧力を一定に保つために、各比例制御弁の前に減圧弁3、4を設けると共に、室内の湿度と設定値との差を検出して水側比例制御弁3の開度を決定する湿度指示調節計HICと、指示調節計HICの出力をアナログ変換器ACにより変換して水側比例弁開度をもとに空気側比例弁開度を決定する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
二流体水噴霧ノズルの圧縮空気量と水量とを制御してクリーンルームを加湿する方法において、水側比例弁開度をもとにアナログ変換器を介してフィードフォワード方式で空気側比例弁開度を決定するようにした、ことを特徴とする二流体水噴霧ノズルの比例制御方法。
IPC (4件)：
F24F 11/02 ,  F24F 3/14 ,  F24F 6/00 ,  F24F 6/14
FI (4件)：
F24F11/02 102V ,  F24F3/14 ,  F24F6/00 E ,  F24F6/14
Fターム (6件)：
3L053BC05 ,  3L055BB01 ,  3L060AA07 ,  3L060CC15 ,  3L060DD02 ,  3L060EE25
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (8件)
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