特許

J-GLOBAL ID：200903008113443665

可変インダクタ

発明者： 益 一哉 ,  岡田 健一 ,  横山 佳巧 ,  伊藤 浩之 ,  五味 振一郎 ,  菅原 弘雄
出願人/特許権者： 財団法人理工学振興会
代理人 (2件)： 石原 昌典 ,  生井 和平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-294040
公開番号（公開出願番号）：特開2005-064308
出願日： 2003年08月18日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：

【課題】半導体基板上に形成可能であり、Q値の劣化が少なく、インダクタンスの変化量が大きい可変インダクタを提供する。【解決手段】半導体処理工程により半導体基板1上にスパイラルインダクタ2が形成される。インダクタ2の磁束4を変化させることが可能な位置に、磁束可変手段である導体板3と、それを移動させるためのアクチュエータとを配置する。アクチュエータを用いて、インダクタの例えば上方近傍で導体板を水平移動させることで、磁束を変化させる。また、2段インダクタの間で導体板を水平移動させてインダクタンスを変化させることも可能である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体基板上に形成される可変インダクタであって、該可変インダクタは、 半導体処理工程により前記半導体基板上に形成されるインダクタと、 前記インダクタの磁束を変化させることが可能な位置に設けられる磁束可変手段と、 を具備することを特徴とする可変インダクタ。

IPC (3件)：

H01F21/06 ,  H01L21/822 ,  H01L27/04

FI (2件)：

H01F21/06 E ,  H01L27/04 L

Fターム (3件)：

5F038AZ05 ,  5F038AZ10 ,  5F038EZ20

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 可変インダクタンス素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-104790   出願人：株式会社村田製作所
• チップ型可変インダクタ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-271176   出願人：株式会社村田製作所
• 可変インダクタンス素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-025932   出願人：株式会社村田製作所
• 可変インダクタを備える物品
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-213586   出願人：ルーセントテクノロジーズインコーポレーテッド
• 可変インダクタ及びそれを用いた半導体集積回路
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-300483   出願人：株式会社日立製作所

審査官引用 (5件)

• プリント配線型インダクタンス素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-180494   出願人：日本航空電子工業株式会社
• 特表昭62-501810
  
• コイル部品およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-007054   出願人：松下電器産業株式会社
• 集積半導体装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-280162   出願人：株式会社トーキン
• 特表昭62-501810