電界放出素子及びそれを用いた電界放出形表示装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西村教光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-360777
公開番号（公開出願番号）：特開2000-182510
出願日： 1998年12月18日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】電極間のギャップを一定に保持し、電子放出量のバラツキを低減する。【解決手段】絶縁性を有するカソード基板2の上に導電材料からなるカソード電極3がストライプ状に形成され、カソード電極3の上に導電材料からなる膜状のエミッタ層4がカソード電極3と略同一幅でストライプ状に形成され、カソード基板2の上のエミッタ層4の両側に絶縁性の支柱部材をなすガラスビーズ5が固着され、ガラスビーズ5の表面にポーラスな部分を有する膜状のゲート電極7が形成される。そして、ガラスビーズ5の直径によりカソード電極3とゲート電極7との間の距離が規定され、その間のギャップが一定に保持される。

請求項（抜粋）：

絶縁性を有するカソード基板と、前記カソード基板の上に形成されたカソード電極と、前記カソード電極の上に形成された膜状のエミッタ層と、前記エミッタ層の上に固着された絶縁性の支柱部材と、前記エミッタ層から放出される電子を通過させる開口部分を有して前記支柱部材の前記エミッタ層と当接する面の反対側に形成された膜状のゲート電極とを備えたことを特徴とする電界放出素子。

IPC (3件)：

H01J 1/304 , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (3件)：

H01J 1/30 F , H01J 29/04 , H01J 31/12 C

Fターム (12件)：

5C031DD09 , 5C031DD17 , 5C031DD20 , 5C036EE02 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG12 , 5C036EG15 , 5C036EG31 , 5C036EH04 , 5C036EH06

引用特許：

審査官引用 (13件)

電界放出デバイスとその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-243941 出願人：エイ・ティ・アンド・ティ・コーポレーション
電界放出素子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-200992 出願人：双葉電子工業株式会社
マイクロチップ、電界放出アレー、及びこれらの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-161919 出願人：三星電管株式會社

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