角速度センサ素子および角速度センサ装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：三反崎泰司 , 藤島洋一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-348221
公開番号（公開出願番号）：特開2008-157810
出願日： 2006年12月25日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：

【課題】横方向の加速度の影響を除去し易い、横置き型の角速度センサ素子を提供する。【解決手段】ケース4のセンサ素子支持部41の上面に固定される固定部20と、固定部20の両側に連結されると共にセンサ素子支持部41の上面と平行な面に沿って延在する上検出腕21および下検出腕22と、上検出腕21を間にして固定部20に連結されると共に上検出腕21の延在方向に延在する一対の上振動腕23とを備える。つまり、本角速度センサ素子2では、下検出腕22が上検出腕21および一対の上振動腕23のそれぞれの延在方向とは反対側に延在して形成されている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

支持面に固定される固定部と、前記固定部の両側に連結されると共に前記支持面と平行な面に沿って延在する上第1振動腕および下振動腕と、前記上第1振動腕を間にして前記固定部に連結されると共に前記上第1振動腕の延在方向に延在する上第2振動腕および上第3振動腕とを備えることを特徴とする角速度センサ素子。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C19/56 , G01P9/04

Fターム (11件)：

2F105AA01 , 2F105AA02 , 2F105AA03 , 2F105AA05 , 2F105AA08 , 2F105BB03 , 2F105BB13 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06 , 2F105CD13

引用特許：

出願人引用 (3件)

薄膜微小機械式共振子、薄膜微小機械式共振子ジャイロ、この薄膜微小機械式共振子ジャイロを用いたナビゲーションシステム及び自動車
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-300116 出願人：松下電器産業株式会社
振動型ジャイロスコープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-289009 出願人：富川義朗, アルプス電気株式会社
振動ジャイロスコープ
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-165768 出願人：富川義朗

審査官引用 (10件)

振動子、振動型ジャイロスコープ、直線加速度計および回転角速度の測定方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-306434 出願人：日本碍子株式会社
振動子およびこの振動子を使用した振動型ジャイロスコープ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-326470 出願人：日本碍子株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-221734 出願人：株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー

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