特許
J-GLOBAL ID：200903009954194216

MEMS装置

発明者：
北 川 光 彦

北 川 光 彦 について

, 
相 沢 吉 昭

相 沢 吉 昭 について


出願人/特許権者：
株式会社東芝

株式会社東芝 について


代理人 (5件)： 吉武 賢次 ,  橘谷 英俊 ,  佐藤 泰和 ,  吉元 弘 ,  川崎 康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-175120
公開番号（公開出願番号）：特開2004-103559
出願日： 2003年06月19日
公開日（公表日）： 2004年04月02日
要約：
【課題】ノイズの発生を可及的に抑制し、高い信頼性を得ることを可能にする。【解決手段】発光素子2aを含み光を出射する発光回路2と、発光回路から出射された光を受け電圧を発生する受光素子51,・・・,5nが複数個直列に接続された直列回路を有する受光回路5と、受光回路によって発生された電圧によって駆動されるMEMS構造部10と、を備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
発光素子を含み光を出射する発光回路と、 前記発光回路から出射された光を受け電圧を発生する受光素子が複数個直列に接続された直列回路を有する受光回路と、 前記受光回路によって発生された電圧によって駆動されるMEMS構造部と、を備えたことを特徴とするMEMS装置。
IPC (5件)：
H01H59/00 ,  B81B3/00 ,  H01H47/00 ,  H01L31/12 ,  H03K17/78
FI (5件)：
H01H59/00 ,  B81B3/00 ,  H01H47/00 Z ,  H01L31/12 F ,  H03K17/78 R
Fターム (16件)：
5F089AA10 ,  5F089AB09 ,  5F089AC07 ,  5F089BC29 ,  5F089CA11 ,  5F089FA05 ,  5F089FA10 ,  5J050AA15 ,  5J050BB18 ,  5J050CC00 ,  5J050DD03 ,  5J050DD18 ,  5J050EE02 ,  5J050EE31 ,  5J050FF04 ,  5J050FF10
引用特許：
審査官引用 (15件)
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