ポジ型感光性組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川曉司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-155932
公開番号（公開出願番号）：特開平8-022120
出願日： 1994年07月07日
公開日（公表日）： 1996年01月23日
要約：

【要約】【目的】遠紫外領域の光を用いたハーフミクロンリソグラフィーに対応できる、高γ値を有しかつ表面難溶化層の発生が無い化学増幅型ポジ型フォトレジストを提供する。【構成】アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤及び、酸の作用によりアルカリ可溶性となる化合物を主成分として含むポジ型感光性組成物において、更にアミン化合物または含窒素複素芳香環化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂、光酸発生剤及び、酸の作用によりアルカリ可溶性となる化合物を主成分として含むポジ型感光性組成物において、更にアミン化合物または含窒素複素芳香環化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/004 502 , G03F 7/004 503 , G03F 7/039 , H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (12件)

放射感受性の組成物及び方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-304792 出願人：シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド
レジスト材料
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-285775 出願人：日本電気株式会社
感放射線性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-073169 出願人：日本合成ゴム株式会社

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