特許
J-GLOBAL ID：200903011215383609
クライオポンプの再生方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
鈴木 正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-299066
公開番号（公開出願番号）：特開2001-123951
出願日： 1999年10月21日
公開日（公表日）： 2001年05月08日
要約：
【要約】【課題】 真空処理装置の真空排気に使用されるクライオポンプの再生に要する時間を短縮する。【解決手段】 クライオポンプ内の排気パネルの冷却に到達温度4K以下の冷凍機を用い、吸着剤としての活性炭は使用せず、真空装置におけるガスを排気パネル表面に直接凝縮させることで排気を行い、クライオポンプの再生時には、水素及びネオンの三重点温度又は三重点圧力を考慮に入れて、ガスが凝縮されている排気パネルの温度、又はクライオポンプ内の圧力を制御することにより、水素又はネオン、又はその双方を、選択的にクライオポンプ外に排出するという方法を採用してクライオポンプを再生する。
請求項（抜粋）：
真空装置におけるガスを温度4K以下に冷却した排気パネル表面に凝縮させることにより、吸着剤としての活性炭を使用せずに真空排気を行う2段式以上の冷凍機を用いたクライオポンプの再生を行う方法において、クライオポンプの再生の際、前記排気パネルの温度を上昇させ、前記排気パネルの温度が凝縮排気されているガスの三重点温度に達する前に、又はクライオポンプ内の圧力が凝縮排気されているガスの三重点圧力に達する前に、クライオポンプに接続されている他の真空ポンプによりクライオポンプ内の真空排気を開始し、水素又はネオン、又はその双方を、クライオポンプ外に排出し、排出後再び前記排気パネルを温度4K以下に冷却することにより、クライオポンプの再生を行うことを特徴とするクライオポンプの再生方法。
Fターム (4件)：
3H076AA27
, 3H076BB24
, 3H076BB28
, 3H076CC54
出願人引用 (10件)
全件表示
審査官引用 (9件)
全件表示
前のページに戻る
