特許
J-GLOBAL ID：200903011474838380
リソグラフィー用リンス液
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
阿形 明
, 水口 崇敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-336579
公開番号（公開出願番号）：特開2006-145897
出願日： 2004年11月19日
公開日（公表日）： 2006年06月08日
要約：
【課題】 リソグラフィー技術によりレジストパターンを形成させる際、レジストパターンの表面を接触角70度以上に改質してパターン倒れを迅速かつ効果的に防止して、高品質の製品を製造するための新規なリンス液を提供する。【解決手段】 (A)水溶性含フッ素化合物及び(B)オルガノシラン化合物を含有する溶液からなるリソグラフィー用リンス液とする。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)水溶性含フッ素化合物及び(B)オルガノシラン化合物を含有する溶液からなるリソグラフィー用リンス液。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F7/32 501
, H01L21/30 569E
2H096AA25
, 2H096BA11
, 2H096EA02
, 2H096EA05
, 2H096FA01
, 2H096GA08
, 2H096GA18
, 2H096LA16
, 5F046LA12
