特許
J-GLOBAL ID：200903012678213652

試料保持具

発明者：
井上 徹彌

井上 徹彌 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-275105
公開番号（公開出願番号）：特開2007-258668
出願日： 2006年10月06日
公開日（公表日）： 2007年10月04日
要約：
【課題】拭き取り作業における試料へのパーティクルの再付着などが発生しない試料保持具を提供する。【解決手段】セラミック基体の一主面上に備えられ、試料を保持するための複数のピン1と、セラミック基体上方側の主面の外縁部に、保持される試料との間を密閉する空間を形成するためのシール部と、を備えており、ピン1は、先端に向かって先細り状であり、複数の傾斜面6からなるショルダー部4を外周にわたって少なくとも1つ備えている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
セラミック基体の一主面上に、試料を保持するための複数のピンと、該複数のピンの周囲に配置され、保持される試料との間を閉鎖するためのシール部と、を備えた試料保持具であって、前記ピンは、先端に向かって先細り状であり、且つ複数の傾斜面からなるショルダー部をその外周にわたって少なくとも1つ備えていることを特徴とする試料保持具。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (1件)：
H01L21/68 N
Fターム (11件)：
5F031CA02 ,  5F031HA02 ,  5F031HA08 ,  5F031HA14 ,  5F031HA16 ,  5F031HA23 ,  5F031HA48 ,  5F031MA27 ,  5F031PA20 ,  5F031PA24 ,  5F031PA26
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (7件)
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