特許
J-GLOBAL ID：200903014161638966

タッチ信号プローブの動作制御構造

発明者：
日高 和彦

日高 和彦 について

, 
松木 薫

松木 薫 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (1件)： 木下 實三 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-096377
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292160
出願日： 1999年04月02日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】 被測定物との接触により生ずるスタイラスの凝着現象を防止し、被測定物の表面に沿って連続測定を行うことのできるタッチ信号プローブの動作制御構造を提供すること。【解決手段】先端に被測定物と接触する接触部102Aを有するスタイラス102を備えたタッチ信号プローブを動作させる支持体23の動作制御を行うタッチ信号プローブの動作制御構造は、スタイラス102を軸方向に振動させる加振手段103Aと、軸に直交する方向に振動させる第2加振手段110とを備えている。第2加振手段110で接触部102Aがタッピング動作しながら被測定物の端面を走査し、その際の検出手段103Bからの検出信号Vに基づいて、支持体23の動作制御を行うことにより、スタイラス102の凝着現象に伴う機械的位相遅れを防止することが可能となる。
請求項（抜粋）：
被測定物と接触する接触部を先端に有するスタイラスと、このスタイラスを支持するスタイラスホルダと、前記スタイラスを軸方向に周波数f1で共振させる加振手段と、この加振手段による前記スタイラスの振動の変化を検出する検出手段とを備えたタッチ信号プローブの動作制御を行うタッチ信号プローブの動作制御構造であって、前記スタイラスホルダと機械的に結合され、外部からの指令により三次元空間内を所定の速度ベクトルで運動する支持体と、前記スタイラスの軸方向に直交する方向であり、かつ前記被測定物の端面の法線方向に、当該スタイラスと前記被測定物を相対的に周波数f2で振動させる第2加振手段と、この第2加振手段により前記スタイラスを振動させながら、前記被測定物の端面に前記接触部を接触させた際、前記接触部および前記被測定物の端面の接触に伴う前記検出手段による検出信号の状態量の変化が一定となるように、前記支持体の動作制御を行う制御手段とを備えていることを特徴とするタッチ信号プローブの動作制御構造。
Fターム (11件)：
2F069AA51 ,  2F069AA61 ,  2F069DD30 ,  2F069GG06 ,  2F069GG08 ,  2F069HH01 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ26 ,  2F069LL02 ,  2F069LL06 ,  2F069MM04
引用特許：
審査官引用 (8件)
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