特許
J-GLOBAL ID：200903014282046675

電子放出源の製造方法及び電子放出源

発明者：
滝川 浩史

滝川 浩史 について

, 
伊藤 茂生

伊藤 茂生 について


出願人/特許権者：
双葉電子工業株式会社

双葉電子工業株式会社 について


代理人 (1件)： 大塚 秀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-118462
公開番号（公開出願番号）：特開2000-277003
出願日： 1999年03月23日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：
【要約】【課題】 製造が容易で電子放出特性に優れた電子放出源の製造方法及び電子放出源を提供すること。【解決手段】 チャンバ101を圧力1PaのHe雰囲気にして、直流100Aのアーク電流を流して1秒間アーク放電させて、陰極102を局所的に加熱させると、陰極102を構成する陰極材料が飛散して、表面に多数のカーボンナノチューブが形成されたカーボン粒子が生じる。前記カーボン粒子を収集して、電子放出源のエミッタとして使用する。
請求項（抜粋）：
電子を放出する電子放出材料をエミッタとして複数の電極間に配設して成る電子放出源の製造方法において、所定ガス圧10Torrから10-6Torrの雰囲気中で、グラファイトまたは所定の触媒金属を含有するグラファイトからなる固体または粉末材料をプラズマ中で加熱させることにより、カーボンナノチューブ、ナノカプセルまたはフラーレンあるいはこれらの中のいずれかの混合物を含む電子放出材料を生成し、前記電子放出材料を、絶縁体、半導体または金属導体からなる基板上に被着させて、エミッタとして使用することを特徴とする電子放出源の製造方法。
IPC (2件)：
H01J 9/02 ,  H01J 1/304
FI (2件)：
H01J 9/02 B ,  H01J 1/30 F
引用特許：
審査官引用 (10件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM