電子線検出器

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-084110
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282017
出願日： 2002年03月25日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：

【要約】【課題】チャージアップを好適に防止することができる電子線検出器を提供する。【解決手段】電子線検出器1は、半導体基板2を備えており、半導体基板2の表面にはN+層13が形成され、裏面にはP+層12が形成されている。また、半導体基板2には電子線が通過する貫通孔15が形成されており、貫通孔15の入射面側開口部16は、出射面側開口部17よりも大径である。また、貫通孔15には、入射側開口部16から出射側開口部17に向けて縮径するテーパ部18が形成されている。そして、半導体基板2の入射面側に形成されたN+層13および貫通孔15は、Au-Cr層からなるシールド層20が形成されており、チャージアップを防止している。

請求項（抜粋）：

電子線が通過する貫通孔が形成された半導体基板を備え、前記貫通孔における一方の開口部の開口面積が他方の開口部の開口面積よりも大きく、前記貫通孔には、前記一方の開口部から他方の開口部に向けて縮径するテーパ部が形成されており、前記一方の開口部および他方の開口部のうち、前記電子線が出射する側の開口部の周囲に、被写体で反射された電子線を検出する電子線検出部が形成されており、前記貫通孔の内壁が絶縁膜およびAu膜で被覆されていることを特徴とする電子線検出器。

IPC (5件)：

H01J 37/244 , G01T 1/28 , H01J 37/28 , H01L 21/3205 , H01L 31/09

FI (5件)：

H01J 37/244 , G01T 1/28 , H01J 37/28 B , H01L 21/88 S , H01L 31/00 A

Fターム (39件)：

2G088EE29 , 2G088FF05 , 2G088GG21 , 2G088JJ09 , 2G088JJ35 , 5C033NN02 , 5C033NP08 , 5F033HH08 , 5F033HH13 , 5F033HH17 , 5F033JJ01 , 5F033JJ08 , 5F033KK01 , 5F033MM05 , 5F033MM30 , 5F033PP19 , 5F033QQ07 , 5F033QQ16 , 5F033QQ19 , 5F033QQ28 , 5F033QQ34 , 5F033QQ76 , 5F033RR04 , 5F033RR06 , 5F033SS11 , 5F033TT07 , 5F033VV03 , 5F033XX00 , 5F033XX14 , 5F088AA03 , 5F088AB03 , 5F088BA20 , 5F088BB06 , 5F088CB09 , 5F088CB14 , 5F088FA05 , 5F088FA12 , 5F088GA04 , 5F088LA07

引用特許：

審査官引用 (10件)

改良された環境型走査電子顕微鏡
公報種別：公表公報出願番号：特願平7-505913 出願人：エレクトロスキャンコーポレイション
特開平4-179116
2次電子検出器及びこれを用いた電子ビーム装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-034675 出願人：富士通株式会社

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