特許
J-GLOBAL ID：200903015144676150
リソグラフィ装置またはリソグラフィ処理セルを作動する方法、リソグラフィ装置およびリソグラフィ処理セル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
浅村 皓
, 浅村 肇
, 森 徹
, 岩本 行夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-371509
公開番号（公開出願番号）：特開2005-191571
出願日： 2004年12月22日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】リソグラフィ装置またはリソグラフィ処理セルの少なくとも部分を形成する機械を操作するスケジュールの作成方法を開示する。【解決手段】この方法では、リソグラフィプロセスの結果に影響を及ぼす複数の品質の個々の品質について、複数の重み係数を受信する。前記リソグラフィプロセスを完了するために実行すべきタスクの最適スケジュールを作成し、前記最適スケジュールは、最大の合計品質値を有する結果をもたらすスケジュールであり、合計品質とは、前記品質のそれぞれの値と個々の重み係数の合計である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
リソグラフィ装置またはリソグラフィ処理セルの少なくとも部分を形成する機械を操作するスケジュールを作成する方法であって、
- リソグラフィのプロセスの結果に影響を及ぼす複数の品質のうち個々の品質の複数の重み係数を受信することと、
- 前記リソグラフィプロセスを完了するために実行すべきタスクの最適スケジュールを作成することとを含み、前記最適スケジュールは、最大の合計品質値を有する結果をもたらすものであり、合計品質とは、前記品質のそれぞれの値と個々の重み係数の積の合計である方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 502G
, G03F7/20 501
2H097BA02
, 2H097BA10
, 2H097LA10
, 5F046AA28
, 5F046DA30
, 5F046DD06
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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