特許
J-GLOBAL ID：200903015265169786

感放射線性樹脂組成物

発明者：
米田 英司

米田 英司 について

, 
川上 峰規

川上 峰規 について

, 
原 宏道

原 宏道 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (3件)： 渡邉 一平 ,  木川 幸治 ,  樋口 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-312826
公開番号（公開出願番号）：特開2006-126365
出願日： 2004年10月27日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：
【課題】レジストとしての基本物性に優れ、ラインエッジラフネスが小さい感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)分子鎖の末端に特定の式で表される基を有し、かつ式(2)で表される繰り返し単位、及び特定の繰り返し単位を有する樹脂、及び(B)感放射線性酸発生剤を含有する。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
(A)分子鎖の少なくとも一方の末端に下記一般式(1)で表される基を有し、かつアルカリ難溶性あるいは不溶性であり、酸の作用によりアルカリ易溶性となる樹脂であって、下記一般式(2)で表される繰り返し単位、及び下記一般式(3)で表される繰り返し単位を有する樹脂、及び (B)感放射線性酸発生剤 を含有する感放射線性樹脂組成物。
IPC (5件)：
G03F 7/039 ,  C08F 220/18 ,  C08F 220/28 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G03F7/039 601 ,  C08F220/18 ,  C08F220/28 ,  G03F7/033 ,  H01L21/30 502R
Fターム (33件)：
2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB14 ,  2H025CB41 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100BA03P ,  4J100BA05Q ,  4J100BA11P ,  4J100BA11Q ,  4J100BC03P ,  4J100BC04P ,  4J100BC07P ,  4J100BC09P ,  4J100BC53Q ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA27 ,  4J100DA39 ,  4J100FA04 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (9件)
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