特許
J-GLOBAL ID：200903015452335630
基板搬送用ロボット及びそれを備えた基板搬送装置、半導体製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-230877
公開番号（公開出願番号）：特開2009-061542
出願日： 2007年09月06日
公開日（公表日）： 2009年03月26日
要約：
【課題】基板搬送用ロボットにおいて、基板を目的位置へ搬送する場合の搬送経路の選択肢を増やし、これにより搬送時間の最短経路を選択することを可能にさせる。【解決手段】基板搬送用ロボットのコントローラが、複数の教示位置が教示された際、教示位置の各々に対するアクセス待機位置11を生成し、アクセス待機位置11から基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢12までの複数の経路を生成して記憶する。。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
基板を保持する基板把持部と、前記基板把持部を先端に有し、水平面において回動自在な複数のアームと、を備え、予め教示された複数の教示位置の間で前記基板を搬送する基板搬送ロボットにおいて、
前記基板搬送用ロボットのコントローラが、
前記複数の教示位置が教示された際、前記教示位置の各々に対するアクセス待機位置を生成し、前記アクセス待機位置から前記基板搬送用ロボットの最小旋回姿勢までの複数の経路を生成して記憶することを特徴とする基板用搬送ロボット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (12件)：
3C007BS15
, 3C007LS15
, 3C007LT18
, 3C007LV14
, 3C007NS12
, 5F031CA02
, 5F031CA07
, 5F031FA01
, 5F031FA04
, 5F031GA02
, 5F031GA43
, 5F031PA02
