特許
J-GLOBAL ID：200903015834592188
走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
倉内 義朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-143847
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332716
出願日： 1997年06月02日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：
【要約】【課題】 カンチレバーチップの交換時の取り扱いが容易な走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 カンチレバーチップ1を、直接手で扱える形状寸法の保持基板10に固着し、この保持基板10を介して顕微鏡本体の装着ヘッド20に着脱自在に装着する。また、カンチレバーチップ1に、カンチレバーの変位を検出するピエゾ抵抗等の変位検出素子を形成してカンチレバーチップ1に自己変位検出機能を持たせることで、変位検出用光学系を不要にするととに、その変位検出素子と装置側の変位検出回路を電気的に接続するための接続部(例えはソケットピン)を保持基板10に設ける。
請求項（抜粋）：
探針をもつカンチレバーチップと、このチップの探針と試料とを2次元方向に相対的に移動する機構を有し、その移動過程で探針の変位を検出して試料表面の微細構造の測定情報を得る顕微鏡において、上記カンチレバーチップが、直接手で扱える形状寸法の保持基板に固着され、この保持基板を介して顕微鏡本体に着脱自在に装着されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
