特許
J-GLOBAL ID：200903016697176496

ジャイロセンサ

発明者：
白鳥 典彦

白鳥 典彦 について

, 
岡田 恵也

岡田 恵也 について


出願人/特許権者：
マイクロストーン株式会社

マイクロストーン株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-247076
公開番号（公開出願番号）：特開2002-031533
出願日： 2000年07月13日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：
【要約】【課題】 所定の主振動モードで定常的に自励振動させている2軸の円板型振動ジャイロセンサにおいて、比較的簡単な構成で安定かつ調整容易な測定感度の温度補償を行うこと。【解決手段】 自励振動用の発振回路における回路定数を温度によって変化せしめることによって、自励振動の発振周波数と、他の振動モードの固有周波数との差周波数を温度変化に対してほぼ一定に制御する。あるいは更に発振回路の駆動電圧を温度により制御することによって温度補償の微調整を行う。具体例では発振回路は反転増幅回路であってそのゲインを決定する帰還回路に感温素子を含み、あるいは更にAGC回路が含む分圧回路に感温素子を用いる。
請求項（抜粋）：
中心軸上板面から離れた位置に負荷質量を有する円板型振動体を、その表面に設けたリング状電極膜によって圧電的に凹凸方向に駆動して主振動モードを与え、前記円板型振動体が前記板面に平行な直交2軸の回りに回転するとき前記付加質量に作用するコリオリ力により生起される前記円板の検出モードの振動を前記表面に備えた2組の扇形電極により圧電的に検出して、前記2軸に関する回転角速度を検出するべく構成された2軸ジャイロセンサにおいて、前記主振動を行わせる発振回路における回路定数を温度の関数とすることによって前記主振動モードの発振周波数に温度変化を与え、前記他の振動モードの固有周波数の温度変化に追従させてこれら両周波数の差を温度変化に対してほぼ一定に制御し、前記角速度の測定感度の温度補償を行う温度補償回路を備えたことを特徴とするジャイロセンサ。
IPC (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08
FI (3件)：
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 41/08 Z
Fターム (8件)：
2F105AA05 ,  2F105AA06 ,  2F105AA10 ,  2F105BB09 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD11
引用特許：
審査官引用 (10件)
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