特許
J-GLOBAL ID：200903016970120512
微細構造体および微細構造体の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上柳 雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-091339
公開番号（公開出願番号）：特開2002-287043
出願日： 2001年03月27日
公開日（公表日）： 2002年10月03日
要約：
【要約】【課題】 光学素子をアクチュエータで駆動する光スイッチングデバイスにおいて、低コストで、耐久性および信頼性の高いデバイスを提供する。【解決手段】 フォトリソグラフィ技術により製造したアクチュエータ6の層に光学素子の層に光潜在性重合開始剤添加エポキシ樹脂35を用いて成形型70で成形して製造する際に、樹脂35の温度を60°C以上500°C以下の温度にヒータ105で制御すると共に、光源125からの光を部分的に当てて仮止めする。これにより、精度良く成形型70とアクチュエータ6が成形されたワーク20との位置合わせができ、膜厚も管理できる。したがって、アクチュエータ6と光学素子が積層された構成の微細構造体を精度良く製造でき、歩留まりを向上できる。
請求項（抜粋）：
第1の構造物と該第1の構造物上に形成される第2の構造物を備え、前記第2の構造物は第1の構造物上に型転写により形成する微細構造体であって、第2の構造物は光潜在性重合開始剤を添加した光潜在性重合開始剤添加エポキシ樹脂を用いた事を特徴とする微細構造体。
IPC (4件)：
G02B 26/08
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, H01L 41/09
G02B 26/08 D
, B81B 3/00
, B81C 1/00
, H01L 41/08 U
2H041AA16
, 2H041AB14
, 2H041AB40
, 2H041AC06
, 2H041AZ08
