SOI高耐圧電力デバイス

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：朝日奈宗太 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-323398
公開番号（公開出願番号）：特開2000-150501
出願日： 1998年11月13日
公開日（公表日）： 2000年05月30日
要約：

【要約】【課題】無機系層間絶縁膜材料では達成できない絶縁耐圧を確保する。【解決手段】 SOI高耐圧電力デバイスの層間絶縁膜に、シリコーンラダー系樹脂膜を用いて、多層配線構造の耐圧性を確保する。

請求項（抜粋）：

層間絶縁膜に、シリコーンラダー系樹脂膜を用いて、多層配線構造の耐圧性を確保したことを特徴とするSOI高耐圧電力デバイス。

IPC (4件)：

H01L 21/312 , C08L 83/04 , H01L 21/768 , H01L 29/786

FI (4件)：

H01L 21/312 D , C08L 83/04 , H01L 21/90 S , H01L 29/78 619 A

Fターム (62件)：

4J002CH052 , 4J002CP031 , 4J002EA049 , 4J002EA069 , 4J002ED039 , 4J002EE019 , 4J002EE038 , 4J002EE048 , 4J002EE059 , 4J002EJ029 , 4J002EL099 , 4J002EN029 , 4J002EN079 , 4J002EN099 , 4J002EN109 , 4J002EN119 , 4J002EQ017 , 4J002EQ037 , 4J002ES009 , 4J002EU029 , 4J002EU199 , 4J002EV287 , 4J002EV307 , 4J002EV308 , 4J002EV317 , 4J002EV347 , 4J002EW148 , 4J002EX016 , 4J002EX036 , 4J002EX066 , 4J002EX076 , 4J002EX086 , 4J002FD147 , 4J002GQ00 , 5F033HH08 , 5F033JJ08 , 5F033KK08 , 5F033QQ09 , 5F033QQ11 , 5F033QQ19 , 5F033QQ54 , 5F033QQ74 , 5F033QQ84 , 5F033RR23 , 5F033SS22 , 5F033VV00 , 5F033WW00 , 5F033XX00 , 5F033XX02 , 5F058AA10 , 5F058AB04 , 5F058AC03 , 5F058AC07 , 5F058AF04 , 5F058AG01 , 5F058AG09 , 5F058AH02 , 5F110AA11 , 5F110BB12 , 5F110BB20 , 5F110CC10 , 5F110NN27

引用特許：

審査官引用 (10件)

半導体装置およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-278685 出願人：三菱電機株式会社
特開平4-063883
アルカリ可溶性感光性樹脂組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-325508 出願人：新日鐵化学株式会社, 新日本製鐵株式会社

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