特許
J-GLOBAL ID：200903017879903594

表面形状測定方法および表面形状測定装置

発明者：
深津 拡也

深津 拡也 について


出願人/特許権者：
株式会社フォトニクス

株式会社フォトニクス について


代理人 (1件)： 落合 稔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-109334
公開番号（公開出願番号）：特開2002-310623
出願日： 2001年04月06日
公開日（公表日）： 2002年10月23日
要約：
【要約】【課題】 簡易な装置構成で精度の高い測定結果を得ることができる表面形状測定方法および表面形状測定装置を提供することを目的とする。【解決手段】 焦点誤差検出方法を用いて、測定対象面11からの反射光を測定することにより測定対象面11の表面粗さを測定する表面粗さ測定方法において、測定対象面11からの反射光を2方向に分岐する第1の工程BSと、分岐した一方の反射光の受光状態から測定対象面の変位に対応する部分を抽出した検出光出力を得る第2の工程S2(2PD-1,13)と、分岐した他方の反射光の受光状態をそのまま検出した参照光出力を得る第3の工程S3(2PD-2,14)と、検出光出力と参照光出力との差を得る第4の工程S4(17)と、を備えたものである。
請求項（抜粋）：
焦点誤差検出方法を用いて、測定対象面からの反射光を測定することにより測定対象面の表面形状を測定する表面形状測定方法において、前記測定対象面からの反射光を2方向に分岐する第1の工程と、前記分岐した一方の反射光の受光状態から前記測定対象面の変位に対応する部分を抽出した検出光出力を得る第2の工程と、前記分岐した他方の反射光の受光状態をそのまま検出した参照光出力を得る第3の工程と、前記検出光出力と前記参照光出力との差を得る第4の工程と、を備えたことを特徴とする表面形状測定方法。
Fターム (16件)：
2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065DD03 ,  2F065EE01 ,  2F065FF10 ,  2F065GG06 ,  2F065JJ18 ,  2F065JJ23 ,  2F065LL30 ,  2F065LL36 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065MM01 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ27
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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