特許
J-GLOBAL ID：200903017935355104
垂直型コイルスプリングプローブ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
大西 孝治
, 大西 正夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-024215
公開番号（公開出願番号）：特開2006-208329
出願日： 2005年01月31日
公開日（公表日）： 2006年08月10日
要約：
【目的】 確実に接触荷重を確保でき、数十万回の使用に耐得る細いプローブとする。【構成】 導電パッドに接触する下側プローブピン200と、同ピン200の接続部230に接続されるガイド管300と、導電パターンに接続される上側プローブピン100と、同ピン100のガイド軸部130が挿入される圧縮コイルスプリング400とを備え、ガイド軸部130の先端がガイド管300に挿入される。同ピン200は導電パッドに接触する下側プローブピン接触部210と、同接触部210に続き同接触部210より太い下側プローブピン鍔部220と、同鍔部220に続き同鍔部220より細い接続部230とが導電性を有する素材で形成され、同ピン100は導電パターンに接続される上側プローブピン接続部110と、同接続部110に続き同接続部110より太い上側プローブピン鍔部120と、同鍔部120に続き同鍔部120より細いガイド軸部130とが導電性を有する素材で形成され、同スプリング400は同鍔部120と同鍔部220との間に介在される。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
測定対象物の導電パッドに接触する下側プローブピンと、この下側プローブピンの上端の接続部に接続されるガイド管と、プローブカードの導電パターンに接続される上側プローブピンと、この上側プローブピンのガイド軸部が挿入される圧縮コイルスプリングとを具備しており、前記圧縮コイルスプリングに挿入されたガイド軸部の先端が前記ガイド管に挿入されていることを特徴とする垂直型コイルスプリングプローブ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01R1/067 C
, G01R1/067 A
, H01L21/66 B
2G011AA09
, 2G011AB01
, 2G011AB03
, 2G011AB04
, 2G011AB05
, 2G011AB07
, 2G011AC02
, 2G011AC12
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 2G011AE22
, 2G011AF04
, 2G011AF07
, 4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106CA01
, 4M106DD03
, 4M106DD06
, 4M106DD09
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (5件)
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