特許
J-GLOBAL ID：200903018844672014
マスクブランクス用ガラス基板の製造方法、マスクブランクスの製造方法、マスクブランクス用ガラス基板、及びマスクブランクス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤村 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-377140
公開番号（公開出願番号）：特開2006-309143
出願日： 2005年12月28日
公開日（公表日）： 2006年11月09日
要約：
【課題】マスクブランクス用ガラス基板に発塵のおそれが少ないマーカを形成する。【解決手段】マスクブランクス用ガラス基板12の製造方法であって、ガラス基板12表面における転写に影響のない領域であって、かつ鏡面状の表面にレーザ光を照射させて、マスクブランクス用ガラス基板12を識別、又は管理するためのマーカとして用いられる凹部20を形成するマーキング工程を備える。また、ガラス基板12に関する基板情報を準備する工程を更に備え、ガラス基板12に関する基板情報と、マーカとを対応付けする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
マスクブランクス用ガラス基板の製造方法であって、
前記ガラス基板表面における転写に影響のない領域であって、かつ鏡面状の表面にレーザ光を照射させて、前記マスクブランクス用ガラス基板を識別、又は管理するためのマーカとして用いられる凹部を形成するマーキング工程を備えるマスクブランクス用ガラス基板の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G03F1/08 R
, H01L21/30 502P
2H095BC26
, 2H095BE04
, 2H095BE07
出願人引用 (2件)
審査官引用 (8件)
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