特許
J-GLOBAL ID：200903019851217132
パターンを有する部材の製造方法、パターン転写装置及びモールド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-114103
公開番号（公開出願番号）：特開2007-019466
出願日： 2006年04月18日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：
【課題】ワークの外周領域にも凹凸パターンを適切に形成することが可能となるパターンを有する部材の製造方法、パターン転写装置及びモールドを提供する。【解決手段】モールドが有するパターン形状を被加工物(ワーク、あるいはウエハ)に転写するにあたり、 平板状部材103の周辺領域の内側にパターンを形成するための第1のモールド105を保持するための第1のモールド保持部155と、 該周辺領域にパターンを形成するための第2のモールド108を保持するための第2のモールド保持部158と、を備えた構成とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
パターンを有する部材の製造方法において、
表面に第1のパターンを有する第1のモールドを用意し、
該第1のパターンの外周部に対応した形状の外周部を含み構成される第2のパターンを有する第2のモールドを用意し、
該第1のモールドが有する該第1のパターンの全面を転写できないエリアである該部材の周辺領域には該第2のパターンを転写し、
該周辺領域の内側には、該第1のパターンを転写することを特徴とするパターンを有する部材の製造方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, B82B 3/00
, B29C 59/02
H01L21/30 502D
, B82B3/00
, B29C59/02 B
4F209AC05
, 4F209AF01
, 4F209AG05
, 4F209AH33
, 4F209AH73
, 4F209PA02
, 4F209PB01
, 4F209PC01
, 4F209PC05
, 4F209PN09
, 4F209PQ11
, 5F046AA28
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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