光学素子、光学素子の製造方法、多層反射膜、光導波路素子、回折格子、及び光記録媒体

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：中島淳 , 加藤和詳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-154925
公開番号（公開出願番号）：特開2008-309843
出願日： 2007年06月12日
公開日（公表日）： 2008年12月25日
要約：

【課題】シリコンを含有するDLC膜を備えた新規な光学素子を提供する。【解決手段】波長200〜850nmの範囲では、シリコン含有量が4at%〜17at%の範囲で増加するのに応じて、DLC-Si膜の屈折率がDLC膜の屈折率よりも高くなる。一方、波長850〜1800nmの範囲では、シリコン含有量が4at%〜12at%の範囲で増加するのに応じて、DLC-Si膜の屈折率がDLC膜の屈折率よりも低下する。従って、シリコン含有量を調整することにより、DLC-Si膜の光学特性を任意のレベルに制御することができる。また、このDLC-Si膜を用いて、優れた光学機能を発現する光学素子が得ることができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

シリコンを含有するダイヤモンドライクカーボン(DLC-Si)膜が、光路と交差するように形成されたことを特徴とする光学素子。

IPC (5件)：

G02B 5/28 , G02B 3/00 , G02B 5/26 , G02B 5/18 , G02B 6/12

FI (5件)：

G02B5/28 , G02B3/00 B , G02B5/26 , G02B5/18 , G02B6/12 N

Fターム (27件)：

2H048FA05 , 2H048FA07 , 2H048FA09 , 2H048FA24 , 2H048GA03 , 2H048GA17 , 2H048GA32 , 2H048GA60 , 2H048GA62 , 2H049AA03 , 2H049AA13 , 2H049AA44 , 2H049AA59 , 2H049AA62 , 2H147AB40 , 2H147BA01 , 2H147EA02A , 2H147EA02B , 2H147EA14C , 2H147EA42A , 2H147FA05 , 2H147FA09 , 2H249AA03 , 2H249AA13 , 2H249AA44 , 2H249AA59 , 2H249AA62

引用特許：

出願人引用 (3件)

DLC膜およびその形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-252705 出願人：住友電気工業株式会社
屈折率変調型回折光学素子とそれを含むプロジェクタ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-145254 出願人：住友電気工業株式会社
薄膜と回折光学素子とそれらの製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-221990 出願人：住友電気工業株式会社

審査官引用 (7件)

ダイヤモンドライクカーボン薄膜を有する物品およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-087857 出願人：ティーディーケイ株式会社
非晶質硬質炭素皮膜およびそれを用いた摺動部材
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-100725 出願人：株式会社リケン
ダイヤモンドライクカーボン膜の形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-164627 出願人：大阪府

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