特許
J-GLOBAL ID：200903020175390878

光学素子、光学素子の製造方法、多層反射膜、光導波路素子、回折格子、及び光記録媒体

発明者：
加藤 直彦

加藤 直彦 について

, 
森 広行

森 広行 について


出願人/特許権者：
株式会社豊田中央研究所

株式会社豊田中央研究所 について


代理人 (2件)： 中島 淳 ,  加藤 和詳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-154925
公開番号（公開出願番号）：特開2008-309843
出願日： 2007年06月12日
公開日（公表日）： 2008年12月25日
要約：
【課題】シリコンを含有するDLC膜を備えた新規な光学素子を提供する。【解決手段】波長200〜850nmの範囲では、シリコン含有量が4at%〜17at%の範囲で増加するのに応じて、DLC-Si膜の屈折率がDLC膜の屈折率よりも高くなる。一方、波長850〜1800nmの範囲では、シリコン含有量が4at%〜12at%の範囲で増加するのに応じて、DLC-Si膜の屈折率がDLC膜の屈折率よりも低下する。従って、シリコン含有量を調整することにより、DLC-Si膜の光学特性を任意のレベルに制御することができる。また、このDLC-Si膜を用いて、優れた光学機能を発現する光学素子が得ることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
シリコンを含有するダイヤモンドライクカーボン(DLC-Si)膜が、光路と交差するように形成されたことを特徴とする光学素子。
IPC (5件)：
G02B 5/28 ,  G02B 3/00 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/12
FI (5件)：
G02B5/28 ,  G02B3/00 B ,  G02B5/26 ,  G02B5/18 ,  G02B6/12 N
Fターム (27件)：
2H048FA05 ,  2H048FA07 ,  2H048FA09 ,  2H048FA24 ,  2H048GA03 ,  2H048GA17 ,  2H048GA32 ,  2H048GA60 ,  2H048GA62 ,  2H049AA03 ,  2H049AA13 ,  2H049AA44 ,  2H049AA59 ,  2H049AA62 ,  2H147AB40 ,  2H147BA01 ,  2H147EA02A ,  2H147EA02B ,  2H147EA14C ,  2H147EA42A ,  2H147FA05 ,  2H147FA09 ,  2H249AA03 ,  2H249AA13 ,  2H249AA44 ,  2H249AA59 ,  2H249AA62
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (7件)
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