特許
J-GLOBAL ID：200903020454876268

ロードロック装置及び処理方法

発明者：
岩渕 勝彦

岩渕 勝彦 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (3件)： 萩原 康司 ,  金本 哲男 ,  亀谷 美明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-119733
公開番号（公開出願番号）：特開2006-303013
出願日： 2005年04月18日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：
【課題】基板の温度を好適に調節できるロードロック装置及び処理方法を提供する。【解決手段】外部に対して基板を搬入出させる搬入出部側に設けた搬入口と,基板を処理する処理部側に設けた搬出口とを備えたロードロック装置において,基板Gを加熱する加熱用プレート71を備え,前記加熱用プレート71は,多孔質材からなるプレート本体75と,プレート本体75に加熱した加熱用ガスを供給する加熱用ガス供給路76とを備える構成とした。加熱用ガスは,プレート本体75中を通過し,プレート本体75の表面から噴き出て,基板Gに供給されるようにした。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
外部に対して基板を搬入出させる搬入出部側に設けた搬入口と,基板を処理する処理部側に設けた搬出口とを備えたロードロック装置であって, ロードロック装置内に搬入した基板を加熱する加熱用プレートを備え, 前記加熱用プレートは,多孔質材からなるプレート本体と,前記プレート本体に加熱した加熱用ガスを供給する加熱用ガス供給路とを備え, 前記加熱用ガスは,前記プレート本体中を通過し,前記プレート本体の表面から噴き出て,基板に供給されることを特徴とする,ロードロック装置。
IPC (2件)：
H01L 21/677 ,  C23C 16/44
FI (2件)：
H01L21/68 A ,  C23C16/44 B
Fターム (34件)：
4K030DA02 ,  4K030FA01 ,  4K030GA12 ,  4K030KA24 ,  4K030LA18 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA42 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031MA02 ,  5F031MA04 ,  5F031MA28 ,  5F031NA04 ,  5F031NA05 ,  5F031NA07 ,  5F031PA11 ,  5F045AA08 ,  5F045EB08 ,  5F045EB15 ,  5F045EE07 ,  5F045EE14 ,  5F045EF01 ,  5F045EJ02 ,  5F045EJ10 ,  5F045EK07 ,  5F045EM05
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (6件)
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