薄膜ガスセンサ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：奥山尚一 , 有原幸一 , 松島鉄男 , 河村英文 , 岡本正之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-197246
公開番号（公開出願番号）：特開2007-017217
出願日： 2005年07月06日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：

【課題】本発明は、複数のガスに対するガス感知層を1チップ化することを目的とする。【解決手段】薄膜ガスセンサであって、外周部より薄いダイヤフラム部または開口部を中央部に有する基板1と、基板の上に設けられた支持層2と、支持層の上であって、前記中央部に対応する位置に設けられたヒーター5と、ヒーターの上に設けられた電気絶縁層6と、環境中のガスの組成に応じて抵抗値が変化する第1および第2のガス感知層10,20であって、電気絶縁層の上であって、前記中央部に対応する位置に、ヒーターにより温度が制御可能なように、間隙を隔てて設けられた第1および第2のガス感知層と、第1のガス感知層と電気的に接触して設けられた第1の電極対15,16と、第2のガス感知層と電気的に接触して設けられた第2の電極対25,26とを備えるセンサが提供される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

薄膜ガスセンサであって、外周部より薄いダイヤフラム部または開口部を中央部に有する基板と、前記基板の上に設けられた支持層と、前記支持層の上であって、前記中央部に対応する位置に設けられたヒーターと、前記ヒーターの上に設けられた電気絶縁層と、環境中のガスの組成に応じて抵抗値が変化する第1および第2のガス感知層であって、前記電気絶縁層の上であって、前記中央部に対応する位置に、前記ヒーターにより温度が制御可能なように、間隙を隔てて設けられた、第1および第2のガス感知層と、前記第1のガス感知層と電気的に接触して設けられた第1の電極対と、前記第2のガス感知層と電気的に接触して設けられた第2の電極対とを備えるセンサ。

IPC (1件)：

G01N 27/12

FI (1件)：

G01N27/12 B

Fターム (26件)：

2G046AA11 , 2G046AA19 , 2G046BA01 , 2G046BA04 , 2G046BA07 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046BB08 , 2G046BD03 , 2G046BD05 , 2G046BE03 , 2G046BE07 , 2G046DB01 , 2G046DB07 , 2G046EA02 , 2G046EA09 , 2G046EA11 , 2G046EA16 , 2G046FB02 , 2G046FB06 , 2G046FE24 , 2G046FE36 , 2G046FE38 , 2G046FE39 , 2G046FE41

引用特許：

出願人引用 (9件)

ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-105840 出願人：大阪瓦斯株式会社
薄膜ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-096271 出願人：富士電機株式会社
薄膜ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-096951 出願人：富士電機株式会社

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審査官引用 (11件)

薄膜ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-057190 出願人：富士電機機器制御株式会社, 大阪瓦斯株式会社
ガスセンサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-046557 出願人：フィガロ技研株式会社
特開平4-164243

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