耐食性部材

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-328449
公開番号（公開出願番号）：特開平11-157916
出願日： 1997年11月28日
公開日（公表日）： 1999年06月15日
要約：

【要約】【課題】従来から用いられているガラス、石英、ステンレス、アルミナ、AlNの焼結体は、塩素系プラズマに対して十分な耐食性を示さず、焼結体においては、腐食が徐々に進行して焼結体の表面から結晶粒子の脱粒が生じ、パーティクルが発生するなどの問題があった。【解決手段】BCl3 やCl2 などの塩素系腐食ガス或いはそのプラズマに曝される部位を、Y、La、Ce、Nd、Dyなどの周期律表3a族金属と、Al及び/又はSiを含む複合酸化物、例えば、3Y2 O3 ・5Al2 O3 、2Y2 O3 ・Al2 O3 、Y2 O3 ・Al2 O3 、ダイシリケート、モノシリケートなどの焼結体などにより構成し、また前記部位における前記複合酸化物形成金属以外の不純物金属量が総量で0.1重量%以下に制御する。

請求項（抜粋）：