特許
J-GLOBAL ID：200903023363039311

回路パターン検出装置および回路パターン検査方法

発明者：
柳沢 恭行

柳沢 恭行 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-206035
公開番号（公開出願番号）：特開2003-227859
出願日： 2002年07月15日
公開日（公表日）： 2003年08月15日
要約：
【要約】【課題】本発明は回路基板上に形成された回路パターンの電圧分布を光学的に精度良く検出し、回路パターンの短絡/断線を検査する回路パターン検出装置および回路パターン検査方法。【解決手段】ガラス基板11に透明導電層12成される。電気光学結晶層15表面に反射防止層14及び反射層16が形成される。透明導電層12の表面(下側表面)に接着剤層13を介して電気光学結晶層の反射防止層14が貼り付けられる。すなわち、接着剤層13と電気光学結晶層15との間に反射防止層14が設けられる。
請求項（抜粋）：
回路パターンが形成された回路基板の近傍に設けられ、電界に応じて変化した複屈折率に応じて偏光面が変化する電気光学素子と、回路パターンに応じた電界を前記電気素子に与えるために、回路パターンと前記電気光学素子との間に周期的零和電圧を印加する電圧印加回路と、前記電気光学素子へ光を照射する光源と、前記電気光学素子の反射光の強度分布を検出する検出器と、前記光源からの光照射あるいは検出器への光入射を制御し、照射光あるいは入射光をパルス光とする制御部と、を具備する回路パターン検出装置。
IPC (4件)：
G01R 31/02 ,  G01N 21/956 ,  G01R 31/302 ,  H05K 3/00
FI (4件)：
G01R 31/02 ,  G01N 21/956 B ,  H05K 3/00 Q ,  G01R 31/28 L
Fターム (18件)：
2G014AA01 ,  2G014AA02 ,  2G014AA03 ,  2G014AB59 ,  2G014AC11 ,  2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AB03 ,  2G051BA10 ,  2G051BA11 ,  2G051BA20 ,  2G051BB20 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G132AA00 ,  2G132AF15 ,  2G132AK04 ,  2G132AL11
引用特許：
審査官引用 (17件)
  • 液晶駆動基板の検査装置及びその検査方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-343412   出願人：石川島播磨重工業株式会社
  • 特開平3-167490
  • 基板検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-236146   出願人：富士通株式会社
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