特許
J-GLOBAL ID：200903023673001497
感放射線性樹脂組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-162218
公開番号（公開出願番号）：特開2004-012554
出願日： 2002年06月03日
公開日（公表日）： 2004年01月15日
要約：
【課題】放射線に対する透明性、感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等を含めた幅広い特性に優れた化学増幅型レジストとして有用な感放射線性樹脂組成物を提供する。【解決手段】(A)アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)トリフェニルスルホニウムビス(ノナフルオロ-n-ブタンスルホニル)イミデート、1-(4-n-ブトキシナフタレン-1-イル)テトラヒドロチオフェニウムビス(ノナフルオロ-n-ブタンスルホニル)イミデート、1-(3,5-ジメチル-4-ヒドロキシフェニル)テトラヒドロチオフェニウムトリス(ノナフルオロ-n-ブタンスルホニル)メタニド等で代表される感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ不溶性またはアルカリ難溶性の酸解離性基含有樹脂であって、該酸解離性基が解離したときアルカリ可溶性となる樹脂、並びに(B)下記一般式(1)または一般式(2)で表される感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F7/004
, C08F220/10
, G03F7/039
, H01L21/027
G03F7/004 503A
, C08F220/10
, G03F7/039 601
, H01L21/30 502R
2H025AA01
, 2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AA09
, 2H025AB16
, 2H025AC04
, 2H025AC08
, 2H025AD03
, 2H025BE07
, 2H025BE10
, 2H025BG00
, 2H025CB14
, 2H025CB41
, 2H025FA17
, 4J100AL08P
, 4J100AL08Q
, 4J100AL08R
, 4J100BA03R
, 4J100BA11P
, 4J100BA15Q
, 4J100BA16R
, 4J100BA40R
, 4J100BB18R
, 4J100BC03Q
, 4J100BC04Q
, 4J100BC08P
, 4J100BC08Q
, 4J100BC09P
, 4J100BC09Q
, 4J100BC12P
, 4J100BC12Q
, 4J100BC53P
, 4J100BC65P
, 4J100CA04
, 4J100CA05
, 4J100JA38
