特許
J-GLOBAL ID：200903024991432711

試料の検査,測定方法、及び走査電子顕微鏡

発明者：
江角 真

江角 真 について

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岩間 悟

岩間 悟 について

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角田 純一

角田 純一 について

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佐藤 隆博

佐藤 隆博 について

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池上 明

池上 明 について


出願人/特許権者：
株式会社日立ハイテクノロジーズ

株式会社日立ハイテクノロジーズ について


代理人 (2件)： 井上 学 ,  戸田 裕二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-218954
公開番号（公開出願番号）：特開2009-099540
出願日： 2008年08月28日
公開日（公表日）： 2009年05月07日
要約：
【課題】 アスペクト比の大きなコンタクトホールの観察,検査、或いは測定を高精度に実現ならしめる方法、及び装置を提供する。【解決手段】 上記目的を達成するための一態様として、試料に第1の電子ビームを走査して、試料上を帯電させた後に、第2の電子ビームを走査して試料の観察,検査、或いは測定を行う方法、及び装置において、第1の電子ビームのビーム径を、第2の電子ビームのビーム径より大きくする方法、及び装置を提案する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料に第1の電子ビームを走査して、試料を帯電させ、当該帯電した試料への第2の電子ビームを走査によって得られる電子に基づいて、試料の検査或いは測定を行う方法において、 前記第1の電子ビームのビーム径を、前記第2の電子ビームのビーム径より大きくすることを特徴とする試料の検査,測定方法。
IPC (3件)：
H01J 37/21 ,  H01J 37/28 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
H01J37/21 B ,  H01J37/28 B ,  H01L21/66 J
Fターム (11件)：
4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106DB05 ,  4M106DB18 ,  4M106DH33 ,  5C033MM07 ,  5C033UU01 ,  5C033UU02 ,  5C033UU08 ,  5C033UU10
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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