特許
J-GLOBAL ID：200903025052064790
表面処理アルミニウム材とその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-179368
公開番号（公開出願番号）：特開2005-029891
出願日： 2004年06月17日
公開日（公表日）： 2005年02月03日
要約：
【課題】 緻密で、CVD装置やPVD装置等の真空装置内に導入される腐食性の塩素ガスやプラズマに対する耐食性、耐摩耗性及びアウトガスの抑制能力に優れ、高速で所定の真空度に到達することのできる表面処理アルミニウム材とその製造方法を提供することである。【解決手段】 アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウム基材2と、このアルミニウム基材2表面上に形成される陽極酸化皮膜層3と、この陽極酸化皮膜層3上に形成される水和アルミナ皮膜層4とを有するものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
アルミニウム又はアルミニウム合金からなるアルミニウム基材と、このアルミニウム基材表面上に形成される陽極酸化皮膜層と、この陽極酸化皮膜層上に形成される水和アルミナ皮膜層とを有することを特徴とする表面処理アルミニウム材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C25D11/18 301C
, C25D11/06 C
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (10件)
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