静電チャック装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大島陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-209362
公開番号（公開出願番号）：特開平10-041377
出願日： 1996年07月22日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】熱伝達効率が高く、強度、耐久性に優れた静電チャック装置を提供する。【解決手段】静電チャックの下部絶縁層とベース部材との間に、下部絶縁層の熱膨張率とベース部材の熱膨張率との間の所定の範囲で下部絶縁層側からベース部材側に向けて徐々に熱膨張率が高くなるように、マトリックス金属と添加材との割合が変化する複合材からなるダンパ層を設けることにより、両者間の熱膨張率の差を好適に吸収して熱応力の発生を防止して強度、耐久性が向上し、特に静電チャックを、ベース部材上にろう付するか、または下部絶縁層、電極層及び上部絶縁層をベース部材上に溶射または蒸着により積層することで、積層熱伝達効率が高くなり、ウエハなどの被吸着物の冷却/加熱効率が向上する。

請求項（抜粋）：

対象物を静電吸着するべく、セラミックからなる下部絶縁層と電極層と上部絶縁層とをこの順番に積層してなる静電チャックと、該静電チャックを保持すると共に冷却または加熱機構が組み込まれた金属製のベース部材とを有する静電チャック装置であって、前記静電チャックの前記下部絶縁層と前記ベース部材との間に、両者間の熱膨張率の差を吸収するためのダンパ層を有し、前記ダンパ層が、前記下部絶縁層の熱膨張率と前記ベース部材の熱膨張率との間の所定の範囲で前記下部絶縁層側から前記ベース部材側に向けて徐々に熱膨張率が高くなるように、マトリックス金属と添加材との割合が変化する複合材からなることを特徴とする静電チャック装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B23Q 3/15

FI (2件)：

H01L 21/68 R , B23Q 3/15 D

引用特許：

出願人引用 (11件)

処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-347436 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-015971 出願人：東京エレクトロン株式会社
静電チャック付セラミックスヒーター
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-152232 出願人：信越化学工業株式会社, 東京エレクトロン株式会社

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審査官引用 (5件)

処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-347436 出願人：東京エレクトロン株式会社, 東京エレクトロン山梨株式会社
静電チャック
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-015971 出願人：東京エレクトロン株式会社
静電チャック付セラミックスヒーター
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-152232 出願人：信越化学工業株式会社, 東京エレクトロン株式会社

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