特許
J-GLOBAL ID：200903036372244216
静電チャック及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-334720
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162519
出願日： 1994年12月07日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】高温での使用に際してもセラミックス焼結体プレートにクラックを生じず、効率の良い温度調節が行える静電チャックを提供すること。【構成】セラミックス焼結体プレート1の下面にろう材4を介して、前記セラミックス焼結体プレートの熱膨張率と近似する金属プレート5が接合していることを特徴とする静電チャック。
請求項（抜粋）：
内部電極を有するセラミックス焼結体プレートの下面にろう材を介して、前記セラミックス撓結体プレートの熱膨張率と近似する金属プレートが接合していることを特徴とする静電チャック。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (13件)
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プラズマ処理装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-041089
出願人：株式会社神戸製鋼所
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静電吸着装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-058423
出願人：株式会社日立製作所
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静電吸着装置及びその方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平4-195058
出願人：株式会社日立製作所
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