特許
J-GLOBAL ID：200903027724088822

レプリカ回折格子の製造方法

発明者：
立野 亮

立野 亮 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-270651
公開番号（公開出願番号）：特開2006-084885
出願日： 2004年09月17日
公開日（公表日）： 2006年03月30日
要約：
【課題】 母型であるマスター回折格子からのレプリカ基板の剥離性を高めることで、格子面の転写の精度を改善する。 【解決手段】マスター回折格子10の格子面にフッ素系表面処理剤を塗布して離型剤層13を設け、その後にアルミニウムを真空蒸着して薄膜23を形成する(c)。レプリカ基板21に熱硬化型の接着剤22を塗布し(e)、その後に接着剤22を介してアルミニウム薄膜23を形成したマスター回折格子10を張り合わせる(f)。接着剤22が硬化した後に離型剤層13を境に両者を引き剥がすと、両者は容易に剥離し、アルミニウム薄膜23がレプリカ基板21に反転転写されてレプリカ回折格子20が完成する。レプリカ回折格子20の格子面に残った離型剤層13aは保護層として機能し、防汚性、耐摩耗性等も高まる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基材とを接着剤を介して密着させた後に両者を剥離させ、前記金属薄膜を前記レプリカ基材に反転接着させることでレプリカ回折格子を製造する製造方法において、 マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成する前に、該格子面にフッ素系表面処理剤を剥離剤として塗布し、その後に真空蒸着により金属薄膜を形成することを特徴とするレプリカ回折格子の製造方法。
IPC (1件)：
G02B 5/18
FI (1件)：
G02B5/18
Fターム (9件)：
2H049AA07 ,  2H049AA34 ,  2H049AA37 ,  2H049AA39 ,  2H049AA43 ,  2H049AA44 ,  2H049AA48 ,  2H049AA63 ,  2H049AA64
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • レプリカ回折格子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-293295   出願人：株式会社島津製作所
  • レプリカ回折格子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-048172   出願人：株式会社島津製作所
審査官引用 (8件)
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