特許
J-GLOBAL ID：200903028118636977

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者：
宮崎 大地

宮崎 大地 について

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三好 一登

三好 一登 について

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奥田 良治

奥田 良治 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-255438
公開番号（公開出願番号）：特開2007-114763
出願日： 2006年09月21日
公開日（公表日）： 2007年05月10日
要約：
【課題】高感度で現像時の膜減りが少なく、0.7μm以下の薄い膜厚であっても現像マージンの広いポジ型感光性樹脂組成物を提供すること。 【解決手段】アルカリ可溶性樹脂、ナフトキノンジアジド化合物を含むポジ型感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂を固形分39重量%でγ-ブチロラクトンに溶解した溶液をシリコンウェハー上に塗布し、120°Cで4分間プリベークを行って膜厚10μm±0.5μmのプリベーク膜を形成し、該プリベーク膜を23±1°Cの2.38重量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に3分間浸漬したときの溶解速度が200nm/分以上500nm/分以下であって、かつ前記ナフトキノンジアジド化合物のエステル化率が85%以上97%以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
アルカリ可溶性樹脂、ナフトキノンジアジド化合物を含むポジ型感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性樹脂を固形分39重量%でγ-ブチロラクトンに溶解した溶液をシリコンウェハー上に塗布し、120°Cで4分間プリベークを行って膜厚10μm±0.5μmのプリベーク膜を形成し、該プリベーク膜を23±1°Cの2.38重量%テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に3分間浸漬したときの溶解速度が200nm/分以上500nm/分以下であって、かつ前記ナフトキノンジアジド化合物のエステル化率が85%以上97%以下であることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027
FI (3件)：
G03F7/023 ,  G03F7/004 504 ,  H01L21/30 502R
Fターム (10件)：
2H025AA01 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB26 ,  2H025CB52 ,  2H025CC04 ,  2H025FA17
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (4件)
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