特許
J-GLOBAL ID：200903028725647740
基板研磨方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
宮井 暎夫
, 伊藤 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-289619
公開番号（公開出願番号）：特開2004-122291
出願日： 2002年10月02日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：
【課題】緩衝材周辺への研磨剤固着を防止し、交換頻度を減少させて研磨工程の生産性を改善する。【解決手段】研磨ヘッドに装着され表面に微細な多孔状の穴27が開口した緩衝材7に基板8を保持した状態で、研磨ヘッドとともに基板8を研磨布1の表面に押圧し、かつ研磨布1の表面に研磨剤10を供給しながら基板8の研磨面に研磨布1を摺動して基板8を研磨する際、緩衝材7として基板8の研磨面の面内均一性が許容範囲内になるような圧縮率を有する緩衝材7を用いて、基板8を研磨する。これにより、研磨ヘッドを研磨布1に押圧したときに緩衝材7の微細な穴27が収縮し、研磨中に研磨剤10の砥粒が緩衝材7の周辺部から進入することがなくなり、基板8と緩衝材7との間に生ずる固着を防止することができ、研磨レートの面内均一性劣化寿命を大幅に伸ばすことができる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
研磨ヘッドに装着され表面に微細な多孔状の穴が開口した緩衝材に基板を保持した状態で、前記研磨ヘッドとともに前記基板を研磨布の表面に押圧し、かつ前記研磨布の表面に研磨剤を供給しながら前記基板の研磨面に前記研磨布を摺動して前記基板を研磨する基板研磨方法であって、前記緩衝材として前記基板の研磨面の面内均一性が許容範囲内になるような圧縮率を有する緩衝材を用いて、前記基板を研磨することを特徴とする基板研磨方法。
IPC (4件)：
B24B37/04
, B24B37/00
, B24B55/06
, H01L21/304
B24B37/04 E
, B24B37/00 Z
, B24B55/06
, H01L21/304 621B
, H01L21/304 622P
3C047FF08
, 3C047HH15
, 3C058AA07
, 3C058AB04
, 3C058AC05
, 3C058CB01
, 3C058CB02
, 3C058CB03
, 3C058DA12
, 3C058DA17
出願人引用 (13件)
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審査官引用 (7件)
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