特許
J-GLOBAL ID：200903029267632123
ガラスパネルのチップ管と排気ヘッドとの接続方法およびその真空排気装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-134076
公開番号（公開出願番号）：特開2002-329464
出願日： 2001年05月01日
公開日（公表日）： 2002年11月15日
要約：
【要約】【課題】 排気ヘッドのチップ管装着部内に外部の塵埃が進入し、シール部材に付着することを防止する。【解決手段】 ガラスパネル1のチップ管2を排気ヘッド3のチップ管装着部8内でシール部材12aにより気密に保持することでガラスパネル1のチップ管2と排気ヘッド3とを接続する方法において、前記排気ヘッド3のチップ管装着部8の挿入開口8aからパージガスを流出させながら前記チップ管2をチップ管装着部8内に装着した後、前記シール部材12aによりチップ管2を気密に保持する。そして、シール部材12aによってチップ管2を気密に保持すると、パージガスの導入を停止する。
請求項（抜粋）：
ガラスパネルのチップ管を排気ヘッドのチップ管装着部内でシール部材により気密に保持することでガラスパネルのチップ管と排気ヘッドとを接続する方法において、前記排気ヘッドのチップ管装着部の挿入開口からパージガスを流出させながら前記チップ管をチップ管装着部内に装着した後、前記シール部材によりチップ管を気密に保持することを特徴とするガラスパネルのチップ管と排気ヘッドとの接続方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 9/385 A
, F04B 37/16 E
3H076AA21
, 3H076BB10
, 3H076CC51
, 3H076CC99
, 5C012AA05
, 5C012AA09
, 5C012PP04
, 5C012PP08
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (2件)
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