特許
J-GLOBAL ID:200903029359466300
配線基板の搬送方法および搬送装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴木 学
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-297099
公開番号(公開出願番号):特開2007-109748
出願日: 2005年10月12日
公開日(公表日): 2007年04月26日
要約:
【課題】多数個取り用の配線基板などを最小限の接触で且つ可及的に非接触状態を保って、表面に形成したバンプなどを損傷せず且つ割れなどを生じることなく、確実に搬送できる配線基板の搬送方法およびこれに用いる搬送装置を提供する。【解決手段】搬送すべき配線基板Kの表面Kaと対向する底面11の中央部を負圧にする吸引手段6と、かかる吸引手段6を挟んで左右対称に配置される一対の接触部材30と、上記吸引手段6に対して一対の接触部材30を下向きに押圧するコイルバネ(弾性体)26と、を含み、かかるコイルバネ26に抗して一対の接触部材30を配線基板Kの表面Kaにて対向する一対の辺に線接触した際に、上記吸引手段6の底面11は、上記配線基板Kの表面Kaに接触しない位置にある、配線基板の搬送装置1。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
ベース上に載置された搬送すべき配線基板の表面と側面との間に位置する4辺のうち、少なくとも対向する位置にある一対の辺に、予め下向きに押圧されている少なくとも一対の接触部材を、かかる押圧力に抗して線接触させるステップと、
上記接触部材の間に位置する配線基板の表面の中央部付近を吸引手段により負圧にするステップと、
上記吸引手段の底面と配線基板の表面との距離を検知するステップと、を含む、
ことを特徴とする配線基板の搬送方法。
IPC (2件):
FI (3件):
H05K3/00 J
, H05K3/00 L
, B25J15/06 Z
Fターム (7件):
3C007DS01
, 3C007FS04
, 3C007FU02
, 3C007KS30
, 3C007KS36
, 3C007KV11
, 3C007NS15
引用特許:
出願人引用 (10件)
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搬送装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-348145
出願人:株式会社コガネイ
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シート状基板の搬送装置及び搬送方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-245117
出願人:シャープ株式会社
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吸着ヘッドの位置決め機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-134297
出願人:日立電子エンジニアリング株式会社
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審査官引用 (7件)
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シート状基板の搬送装置及び搬送方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-245117
出願人:シャープ株式会社
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吸着ヘッドの位置決め機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-134297
出願人:日立電子エンジニアリング株式会社
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ウエハキャリア装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-124133
出願人:株式会社日立製作所
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円盤状部品の搬送方法及びその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-233978
出願人:ソニー株式会社
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静電チャック
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-292553
出願人:日本電気株式会社
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基板の保持装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-295239
出願人:株式会社東芝
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基板搬送アーム
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-360003
出願人:株式会社アドバンスト・ディスプレイ
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