高感度圧電素子

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：白崎真二 , 阿部綽勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-241495
公開番号（公開出願番号）：特開2006-058180
出願日： 2004年08月20日
公開日（公表日）： 2006年03月02日
要約：

【課題】本発明の目的は、単純な構造でありながら機械的信号を電気的信号に変換する際の感度を飛躍的に向上させることができる圧電素子を提供すること。【解決手段】基板1、圧電体層2、及び電極層3等からなる圧電素子を湾曲状に形成した。湾曲した形状としては、任意の曲率を有する凸形状、又は任意の曲率を有する凹形状とすることができる。また、基板1の両面に圧電体層2や電極3を形成すれば、実質的に圧電素子が2個設けられることになるため、圧電素子の感度を更に向上することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

湾曲した基板と、湾曲した圧電体層と、湾曲した電極層とを有することを特徴とする圧電素子。

IPC (3件)：

G01L 1/16 , H01L 41/08 , H01L 41/187

FI (6件)：

G01L1/16 B , G01L1/16 C , H01L41/08 Z , H01L41/18 101B , H01L41/18 101C , H01L41/18 101D

引用特許：

出願人引用 (2件)

センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-078581 出願人：東海ゴム工業株式会社
圧電検出器及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-301501 出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (8件)

力センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-057878 出願人：東海ゴム工業株式会社
耐久性に優れた一体型圧電/電歪膜型素子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-119303 出願人：日本碍子株式会社
特許第2909532号

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