特許
J-GLOBAL ID：200903030495719008

電子放出源の製造方法及び電子放出源

発明者：
滝川 浩史

滝川 浩史 について

, 
榊原 建樹

榊原 建樹 について

, 
伊藤 茂生

伊藤 茂生 について


出願人/特許権者：
双葉電子工業株式会社

双葉電子工業株式会社 について


代理人 (1件)： 大塚 秀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-059142
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223012
出願日： 1999年01月31日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：
【要約】【課題】 製造が容易な電子放出源の製造方法を提供すること。【解決手段】 チャンバ101を圧力1PaのHe雰囲気にして、直流100Aのアーク電流を流して1秒間アーク放電させて、陰極102を局所的に加熱させると、陰極102を構成する陰極材料が飛散して、表面に多数のカーボンナノチューブが形成された粒子が生じる。前記粒子を収集して、電子放出源のエミッタとして使用する。
請求項（抜粋）：
所定ガス10Torrから10-4Torrの雰囲気中でグラファイト又は所定の触媒金属を含有するグラファイトから成る粒子生成用材料を加熱することにより粒子を生成し、前記粒子を基板に被着してエミッタとして使用することを特徴とする電子放出源の製造方法。
IPC (4件)：
H01J 9/02 ,  B01J 19/08 ,  C01B 31/02 101 ,  H01J 1/304
FI (4件)：
H01J 9/02 B ,  B01J 19/08 C ,  C01B 31/02 101 F ,  H01J 1/30 F
Fターム (14件)：
4G046CA00 ,  4G046CA01 ,  4G046CA02 ,  4G046CB08 ,  4G046CC02 ,  4G046CC08 ,  4G075AA27 ,  4G075CA02 ,  4G075CA17 ,  4G075CA62 ,  4G075CA65 ,  4G075EC21 ,  4G075FB02 ,  4G075FB03
引用特許：
審査官引用 (6件)
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