特許
J-GLOBAL ID：200903031272810093

感放射線性樹脂組成物、層間絶縁膜およびマイクロレンズ

発明者：
佐野 公康

佐野 公康 について

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西川 通則

西川 通則 について

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蓑輪 貴樹

蓑輪 貴樹 について

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高本 英司

高本 英司 について


出願人/特許権者：
JSR株式会社

JSR株式会社 について


代理人 (1件)： 福沢 俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-367211
公開番号（公開出願番号）：特開2005-134440
出願日： 2003年10月28日
公開日（公表日）： 2005年05月26日
要約：
【課題】生体に対して安全で、大型基板にも良好な塗布性を有し、高感度で、十分な現像マージン、高耐溶剤性、高耐熱性および高光透過率を有し、特に層間絶縁膜およびマイクロレンズの形成に有用な感放射線性樹脂組成物、該組成物から形成された層間絶縁膜およびマイクロレンズとこれらの形成方法を提供する。【解決手段】感放射線性樹脂組成物は、(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)感放射線性酸発生剤および(C)1-メトキシ-2-(2-メトキシプロポキシ)プロパン、プロピオン酸1-メチル-2-メトキシエチル、酢酸2-n-プロポキシプロピル等に代表される有機溶剤を含有する。 層間絶縁膜およびマイクロレンズの形成方法は、少なくとも、(i)前記組成物の塗膜を基板上に形成する工程、(ii)放射線の露光工程、(iii)現像処理工程および(iv)加熱処理工程を含む。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(A)アルカリ可溶性樹脂、(B)感放射線性酸発生剤および(C)下記式(I)で表される化合物を含む有機溶剤を含有することを特徴とする感放射線性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F7/004 ,  G02B1/04 ,  G02B3/00 ,  G03F7/038
FI (4件)：
G03F7/004 501 ,  G02B1/04 ,  G02B3/00 A ,  G03F7/038 503
Fターム (21件)：
2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA04 ,  2H025AA06 ,  2H025AA10 ,  2H025AA18 ,  2H025AA20 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BD23 ,  2H025BE01 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025CB30 ,  2H025CB43 ,  2H025CB45 ,  2H025CC03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (6件)
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