特許
J-GLOBAL ID：200903031765786884

感光性シロキサン組成物、それから形成された硬化膜、および硬化膜を有する素子

発明者：
荒木 斉

荒木 斉 について

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妹尾 将秀

妹尾 将秀 について

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諏訪 充史

諏訪 充史 について


出願人/特許権者：
東レ株式会社

東レ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-358538
公開番号（公開出願番号）：特開2007-163720
出願日： 2005年12月13日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：
【課題】高耐熱性、高透明性、低誘電率性の特性を併せ持ち、経時による感度や未露光部残膜率の変化が小さい感光性シロキサン組成物を提供することにある。【解決手段】a)ポリシロキサン、(b)キノンジアジド化合物、(c)溶剤、(d)一般式(1)で表されるオルガノシラン化合物を含有する感光性シロキサン組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(a)ポリシロキサン、(b)キノンジアジド化合物、(c)溶剤、(d)一般式(1)で表されるオルガノシラン化合物を含有する感光性シロキサン組成物。
IPC (2件)：
G03F 7/023 ,  G03F 7/075
FI (3件)：
G03F7/023 ,  G03F7/075 521 ,  G03F7/075 501
Fターム (16件)：
2H025AA01 ,  2H025AA10 ,  2H025AA11 ,  2H025AB14 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB33 ,  2H025CB55 ,  2H025CC03 ,  2H025CC17 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H025FA30
引用特許：
出願人引用 (11件)
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