特許
J-GLOBAL ID：200903032142390030
圧電デバイスおよび液体吐出ヘッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
渡辺 望稔
, 三和 晴子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-250715
公開番号（公開出願番号）：特開2009-081347
出願日： 2007年09月27日
公開日（公表日）： 2009年04月16日
要約：
【課題】圧電膜への水分の侵入を好適に防止可能な、良好な耐湿性を有する高機能の圧電デバイスを提供する。【解決手段】圧電デバイスは、SOI基板12と、基板12上に成膜された第1の電極16と、第1の電極16上の少なくとも一部に気相成長法により成膜された圧電膜18と、圧電膜18上に成膜され、水蒸気透過率が、1g/m2/day以下であり、Ti、Ir、Ta、Pd、Ru、Rh、Osの少なくとも1つを含む第2の電極20と、少なくとも第2の電極20および圧電膜18の周縁部を覆い、かつ周縁部を除く圧電膜18に対応する位置に開口を備え、少なくとも一層で、SiN、SiO2、SiON、Al2O3、ZrO2、DLCの少なくとも1つを含む保護膜22とを有する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板と、
前記基板上に成膜された第1の電極と、
前記第1の電極上の少なくとも一部に気相成長法により成膜された圧電膜と、
前記圧電膜上に成膜され、水蒸気透過率が、1g/m2/day以下である第2の電極と、
少なくとも前記第2の電極および前記圧電膜の周縁部を覆い、かつ前記周縁部を除く前記圧電膜に対応する位置に開口を備える、少なくとも一層の保護膜とを有することを特徴とする圧電デバイス。
IPC (7件)：
H01L 41/09
, H01L 41/24
, H01L 41/22
, H01L 41/18
, B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
H01L41/08 L
, H01L41/08 C
, H01L41/22 A
, H01L41/22 Z
, H01L41/18 101Z
, B41J3/04 103A
, B41J3/04 103H
2C057AF65
, 2C057AP52
, 2C057AP53
, 2C057BA04
, 2C057BA14
出願人引用 (2件)
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る
