特許
J-GLOBAL ID：200903032267835084

微小試料台

発明者：
今野 隆

今野 隆 について

, 
池田 大輔

池田 大輔 について


出願人/特許権者：
アオイ電子株式会社

アオイ電子株式会社 について


代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-220498
公開番号（公開出願番号）：特開2007-033375
出願日： 2005年07月29日
公開日（公表日）： 2007年02月08日
要約：
【課題】 側面に微小試料片を確実に固定することができる微小試料台を提供すること。【解決手段】 微小試料台10は、全てシリコン製であり、上下方向(Z方向)に4段を有する多段構造である。微小試料台10の第1段11と第2段12はX方向に延設されているが、第3段13〜53と第4段14〜54とからそれぞれ構成される5つの突状部分1〜5は、X方向に配列して第2段12の上面からZ方向に突設されている。微小試料片Sは、微小試料台10の第4段14〜54のいずれかに固定されるが、固定する位置としては、次の3通りがある。第1は、第4段54を例として示す上面(頂面)に立設する場合であり、第2は、第4段44を例として示す側面Pに設置する場合であり、第3は、第4段24を例として示す側面Qに設置する場合である。第4段14〜54の側面P,Qには平滑化処理が施されているので、微小試料片Sを確実に固定できる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
加工処理が施される微小試料を固定するための微小試料台において、 基部となる第1段と、前記微小試料が固定される最上段に設けられる固定部とを有する多段形状となし、前記固定部の側面に平滑化処理が施されたことを特徴とする微小試料台。
IPC (2件)：
G01N 1/28 ,  G01N 1/32
FI (3件)：
G01N1/28 W ,  G01N1/32 B ,  G01N1/28 F
Fターム (14件)：
2G001AA03 ,  2G001BA11 ,  2G001CA03 ,  2G001QA01 ,  2G001RA02 ,  2G001RA03 ,  2G001RA04 ,  2G052AA13 ,  2G052AD32 ,  2G052AD52 ,  2G052EB11 ,  2G052EC16 ,  2G052FD10 ,  2G052GA34
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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