特許
J-GLOBAL ID：200903033414855556

光変調デバイス及び表示装置並びに光変調デバイスの駆動方法及び製造方法

発明者：
亀井 宏行

亀井 宏行 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 栗原 浩之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-235413
公開番号（公開出願番号）：特開2001-059943
出願日： 1999年08月23日
公開日（公表日）： 2001年03月06日
要約：
【要約】【課題】 変調効率を高めると共に、一画素毎に比較的容易に階調することのできる光変調デバイス及び表示装置並びに光変調デバイスの駆動方法及び製造方法を提供する。【解決手段】 圧電体層33及びこれを挟持する第1及び第2の電極32、34とからなる圧電素子30を有すると共に光を反射するミラー膜構造35を有するミラー要素20と、該ミラー要素20に対応して設けられた駆動素子50とを有する光変調デバイスにおいて、前記ミラー要素20を一画素内に複数個設けると共に前記各圧電素子30を一画素を構成する領域の周縁部分に対向する端部で支持部21を介して基板11上に片持ち梁状態で支持する。
請求項（抜粋）：
圧電体層及びこれを挟持する第1及び第2の電極とからなる圧電素子を有すると共に光を反射するミラー膜構造を有するミラー要素と、該ミラー要素に対応して設けられた駆動素子とを有する光変調デバイスにおいて、前記ミラー要素が一画素内に複数個設けられると共に前記各圧電素子が一画素を構成する領域の周縁部分に対向する端部で支持部を介して基板上に片持ち梁状態で支持されていることを特徴とする光変調デバイス。
Fターム (6件)：
2H041AA04 ,  2H041AB14 ,  2H041AB38 ,  2H041AC08 ,  2H041AZ02 ,  2H041AZ08
引用特許：
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (14件)
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