特許
J-GLOBAL ID：200903034253077252
光の偏光を空間的に制御する光学システムおよびこれを製作する方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
志賀 正武
, 渡邊 隆
, 村山 靖彦
, 実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-223252
公開番号（公開出願番号）：特開2006-049902
出願日： 2005年08月01日
公開日（公表日）： 2006年02月16日
要約：
【課題】 光の偏光を空間的に制御する光学システムおよびこれを製作する方法を提供する。【解決手段】 このシステムは所定波長の光線を生成する光源、前記光源で生成された光線を互いに異なる偏光状態を有する複数個の部分光線で分ける偏光制御器を具備する。前記偏光制御器は回折光学装置またはホログラム光学装置の表面に所定の偏光パターンを位置依存性を有するように配置した結果物であることが望ましい。前記偏光制御器によって、前記光線の偏光状態を空間的に制御することが可能である。その結果、大きい開口数を有する光学装置で発生する像対比度の減少を克服することができる。【選択図】 図9B
請求項（抜粋）：
所定波長の光線を生成する光源と、
前記光源で生成された光線が照射されるターゲットオブジェクトと
前記光源から前記ターゲットオブジェクトに至る光線の経路上に配置され、前記光線を互いに異なる複数個の部分光線で分けるビーム形状装置と、
前記光源から前記ターゲットオブジェクトに至る光線の経路上に配置されて、前記部分光線の偏光状態を調節する少なくとも一つの偏光器とを具備することを特徴とする光学システム。
IPC (6件)：
H01L 21/027
, G03H 1/04
, G02B 5/32
, G02B 5/18
, G03F 7/20
, G02B 1/02
H01L21/30 515D
, G03H1/04
, G02B5/32
, G02B5/18
, G03F7/20 501
, G02B1/02
2H049AA02
, 2H049AA33
, 2H049AA55
, 2H049AA64
, 2H049CA11
, 2H049CA28
, 2H097EA03
, 2H097LA10
, 2K008AA00
, 2K008BB04
, 2K008HH12
, 2K008HH25
, 5F046BA03
, 5F046CB15
, 5F046CB25
, 5F046DA12
