特許
J-GLOBAL ID：200903035592638740
電子部品の実装方法及びその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-020345
公開番号（公開出願番号）：特開2000-286298
出願日： 2000年01月28日
公開日（公表日）： 2000年10月13日
要約：
【要約】【課題】 封止樹脂工程やバンプレベリング工程を必要とせず、導電粒子を有する異方性導電層を介在させて電子部品を基板に生産性良くかつ高信頼性で接合する電子部品実装方法及び装置を提供する。【解決手段】 絶縁性樹脂中に導電粒子10aと無機フィラー6fを含む異方性導電層10を介在させつつバンプ3と基板電極5を位置合わせし、ヘッド8によりチップ1を基板4に1バンプあたり20gf以上の加圧力により押圧して、チップと基板の反り矯正、バンプを押しつぶしつつ絶縁性樹脂を硬化しチップと基板を接合する。
請求項（抜粋）：
ワイヤボンディングと同様に金属線(95)の先端に電気スパークによりボール(96,96a)を形成し、上記形成されたボールをキャピラリー(93,193)により電子部品(1)の電極(2)に超音波熱圧着してバンプ(3,103)を形成し、無機フィラーを配合した絶縁性樹脂に導電粒子(10a)を配合した異方性導電層(10)を介在させながら、上記電子部品の上記電極と回路基板(4)の電極(5)とを位置合わせして上記電子部品を上記基板に搭載し、その後、上記電子部品側から加熱しながら、又は基板側から加熱しながら、又は、上記電子部品側と上記基板側の両方から加熱しながら、ツール(8)により上記電子部品を上記回路基板に1バンプあたり20gf以上の加圧力により押圧し、上記基板の反りの矯正と上記バンプを押しつぶしながら、上記電子部品と上記回路基板の間に介在する上記異方性導電層の上記絶縁性樹脂を硬化して、上記電子部品と上記回路基板を接合して上記電子部品の上記電極と上記回路基板の上記電極を電気的に接続するようにしたことを特徴とする電子部品の実装方法。
Fターム (6件)：
5F044KK02
, 5F044KK04
, 5F044KK07
, 5F044KK21
, 5F044LL09
, 5F044RR01
